使用安全SUNX神視晶圓校準(zhǔn)傳感器

使用安全SUNX神視晶圓校準(zhǔn)傳感器

型號
GX-4S GXL-15FLUIB-R-C5 
GX-4SB GXL-15FLUI-C5 
GX-4SB-R GXL-15FLUI-R 
GX-4S-R GXL-15FLUI-R-C5 
GX-5M GXL-15FLU-R 
圖片

資料
低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高，因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測。
無需光軸調(diào)整
投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調(diào)整。并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能
模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。

使用安全SUNX神視晶圓校準(zhǔn)傳感器
用途
檢測晶圓的偏心、凹陷
檢測晶圓的偏心、凹陷
種類
種類
檢測頭
形狀    檢測距離    檢測寬度    型號
    30mm(固定)
(注1)    30mm    HD-T1030
(注1)：    出廠時(shí)固定于安裝基座狀態(tài)下的值。
控制器
檢測頭與控制器必須配套使用。
形狀    型號    輸出
    HD-T1C    模擬電壓
?輸出電壓：1～5V